本横河电子公司与丰田和 NIPPONDENSO 侧重有所不同，该公司主要生产大批量低成本传感器，对精度要求适中，主选硅基传感器。

近年来面世的横河公司 Dpharp工业压力变送器是一高性能的工业用 智能压力变送器，主要用于工业过程控制，除传感器芯片外，还包括相关联的模拟驱动 / 敏感电路、数字线性化补偿、温度补偿、诊断和通讯 [19] 等功能，性能优良，在较宽温度和压力范围内精度都能达到 0.01% 。

该变送器的核心部件是一个精细的硅基传感器芯片。此芯片和一个电磁驱动共振梁共同封装在真空壳内，集成在一个标准硅压力传感器振动膜上 [16-18] ，如图 6。该器件工作时，共振梁受电路的闭环反馈驱动而共振，当振动膜受压力形变时，共振梁受到应力，共振频率改变，从而可以高灵敏地测量压力。实际的传感器中，在振动膜上有两个共振梁，一个在中间，另一个在一边。该器件具有动态响应范围宽、高灵敏度和高稳定性的特点。传感芯片的制造具有挑战性，包括4个连续的外延生长和选择性刻蚀步骤，封装更是复杂，因此价格昂贵。但是该器件的制作体现了硅基微机械加工技术的能力，代表了技术的进步方向。

还有很多其他日本企业实验室在发展基于 MEMS 的传感器，例如 Hitachi 研究了一种闭环加速度传感器 [20] ，可用于汽车系统（见图 7 ）。该器件采用了一种复杂的双边刻蚀技术以得到需要的对称结构，并消除交叉灵敏度 [21] ， 3.2mm ′ 5mm 的硅片键合在两片玻璃片之间，形成微分电容，其上安放着集成电路。

Seiko 公司制造了多种固态传感器，均采用了硅和石英压电技术。 Omron 公司也将研究重点放在硅传感器上。在 Canon 和 Olympus 公司，研究更集中于微执行器和微机械，而不是传感器。 Nissan 公司生产了一种加速度传感器（如图 8 ） [22] 。这种传感器的结构包括体加工悬臂梁、压阻、用于放大的双极电路，具有温度补偿能力。

三、大学中传感器的研究进展

与日本企业研究所不同，大部分大学并没有在 MEMS 传感器的研究上投入很多精力，而主 要是研究微执行器、微机械、微机器人等能长期创新的项目。传感器的研究主要集中在东北大学。