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在这一方面,MEMS技术的一个主要应用将是轮胎压力监测。无论从安全行车还是从节省燃油的角度来看,有必要保持适当的轮胎充气状态。目前已有不少实时胎压监测系统。基于MEMS技术的微型压力传感器是理想的敏感器件。随着run-flat轮胎的引入,这些测量系统已经广泛安装于各种新车型中。Run-flat轮胎的使用使人们不再需要备用胎和千斤顶。美国克林顿政府已制定了一项法令,要求到2004年美国境内使用的载客汽车必须安装这类装置。这为微型压力传感器提供了一个巨大的市场,Lucas NovaSensor, Motorola和 Sensonor等厂商正积极争夺这一市场。
发动机油的监测也为MEMS技术提供了一个重要的应用机会。这些系统应用的最大障碍是其价格。这类微型压力传感器必须能够在温度很高的发动机油中正常工作,其硅制敏感芯片部分必须与工作介质隔离开。带有全部信号调理电路并封装好的传感器的价格应在5~7美元之间。压力传感器还可以应用于监控易挥发燃油油箱中的蒸气压,以确保无燃油蒸气泄漏。
在不久的将来,汽车方面的应用将继续构成MEMS技术的一个重要市场。如今传统的多路绝对压力传感器和气囊加速度计几乎已经完全被微型化的传感器所替代。在轮速测量、冷却系统压力、发动机油压力和刹车压力测量方面,人们正在考虑或已经开始用基于MEMS技术的传感器来取代已有的产品。此外,人们还在考虑在许多新开发的系统中采用微型传感器。价格、可靠性和体积等方面的优势将使微型传感器成为汽车中各种参数测量的首选产品。目前这些优势已为实践所证实。汽车用微型传感器已受到科研机构及厂商的高度重视,可以预言,未来5~7年其研制、生产与应用将获得高速增长。
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