汽车空调压缩机中的压力测量为MEMS技术提供了很好的机会。目前所使用的是其他技术(如T I的陶瓷电容压力传感器）。但很多MEMS技术公司正积极开发相应的微型传感器，以争夺这一很大的市场。

　　发动机的电子控制一直被认为是MEMS技术在汽车中的主要应用领域之一。Delco, Motorola和Bosch公司生产了数以百万计的多路压力传感器。这些器件测量出的多路进气压力可以用来计算空气/燃料比。人们正在尝试用空气质量流量(mass airflow）传感器代替这类器件。目前市场上出售的产品采用了分立的热线式风速测量方法，它们的体积大、价格高。Bosch公司1995年引入了一种基于薄膜技术的新型质量流量传感器。现在许多组织正在对已经微型化的这种传感器进行评估。除了多路压力和质量流量参数外，发动机控制器还需要获取大气压力参数，以便根据推算出的海拔高度信息确定合理的空气/燃油比。MEMS技术将在这些应用中发挥越来越重要的作用。

　　气缸压力测量对于优化发动机性能来说十分关键。由于气缸内的温度很高，压电和光纤技术较为实用，不过它们昂贵的价格限制了其应用。目前Ford和Chrysler公司的汽车中采用了废气循环(EGR）系统。在这些系统中，陶瓷电容式压力传感器正为微型硅压阻式传感器所取代。无级可调传动系统需要测量液压油的压力。在这一方面，通过各种方法与工作介质隔离开来的微型压力传感器将有广阔的应用前景。Fasco, Measurement Specialties, Integrated Sensor Solutions (最近为TI收购)和 SSI Technologies公司正开发用于这类应用的微型传感器。它们都集成有通过EEPROM编程的硅基CMOS ASIC混合电路。

　　在这一方面，MEMS技术的一个主要应用将是轮胎压力监测。无