本

日本基于 MEMS 传感器的研究进展

焦正 吴明红

摘要： 本文综述了近年来日本基于 MEMS 的传感器在企业和高校的研究进展，简述了各类 MEMS 传感器的结构特点与微机械加工技术，对我国 MEMS 传感器的研究与发展将有很大的借鉴作用。

关键词： MEMS ；传感器；微机械加工

中图分类号： TP212 文献标识码： A

一、引言

近 15 年以来，微机械加工技术得到了快速发展，这种利用在集成电路工业中发展起来的材料和加工技术在硅和其他相关材料表面上加工微小结构的技术，不仅能用于电子器件，还能用于其他功能器件。制备微型固态传感器是微机械加工技术的一个重要研究领域，在此方向上， MEMS 技术主要研究扩展可用材料的种类、加工方法，提高器件的加工精度和复杂性以及增加与集成电路的相容性。从商业化角度来说，在日本和美国等发达国家，传感器仍然是 MEMS 技术近期最主要的应用领域。

MEMS 技术主要用于微型力传感器，对于磁力、化学、生物等传感器，微型化与集成化相对而言并不是最重要的，因此很少应用到 MEMS 技术。本文主要讨论日本近年基于 MEMS 技术的微型力传感器在企业、高校和科研院所的研究进展。

二、企业中传感器研究进展

日本企业中 MEMS 技术的研究主要集中于传感器应用，这主要是由于日本微传感器技术已经历了长期发展，与微执行器和微机械相比，其商业化前景更明确所造成的。日本 MEMS 传感器技术研究主要集中于硅基技术，包括集成电路应用。