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传感器展望12

 



  

另一个制作微型霍尔片的例子,是Bolshak o v a提出的用化学输送反应法给InAs、InSb掺杂,生成须状和片状微结晶片。用它们制成微探头,特别适用于检测复杂的磁系统和小孔中的磁场。这种探头还可在快中子和高能质子辐射的环境中工作。

  正在实现集成化的磁传感器很多,如感应微位移传感器、磁通门磁强计、核磁共振磁强计、电子自旋共振电流传感器等等。和霍尔集成电路的以及AMR集成电路不同的是这些磁传感器要集成一个个微系统,其中有线圈、磁芯、磁共振样品等等,需要空间结构。还有接口和讯号处理电路,包括激励线圈的电源、产生巨磁阻抗或磁共振所需的高频振荡源、取出讯号后的放大、解调或整形电路等等,组成非常复杂。人们调动了各种技术手段,包括半导体单片集成技术、混合集成技术、表面贴装、微机械加工、电子电路、薄膜的生成和处理等等,制成了一个个性能优异的微磁传感器系统。

  由Po p o vic等集成的高分辨率微型化感应接近传感器达到了50n m的分辨率;他们又集成了单片核磁共振磁强计,精确度可达5 pp m。由Mo h r i等人制作的磁致阻抗梯度磁场传感器,磁场分辨率AC可达10-10T,D达10-9T,空间分辨率达30μm。由Ka w ahi t o等研制的采用闭合耦合线圈结构的高分辨率微磁通门传感器,在3MHz的激励电流下灵敏度可达2700V/T,分辨率可达4×10-8T。由Du re t等研制的电子自旋共振电流传感器,最小电流可测到10μA。

 

 

 
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